布鲁克探针式表面轮廓仪历经四十载,从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面极广,为用户提供准确性高,重复性佳的测量结果。在教育、科研领域和半导体制程控制领域,Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。
l 通过及时监测薄膜厚度和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力,实现有效工艺控制,可以提高生产良率,为客户节省时间和费用。
l DektakXT易于设定、测量快捷,通过不同位置的多点自动测量可以跟踪晶片的薄膜厚度,测量精度可达纳米级别。
l DektakXT 卓越的测试性能,为工程师提供了准确的薄膜厚度和应力测量,使其可以用来 调节刻蚀和镀膜工艺,提高产品的良率。
混合电路的DektakXT 3D图像 可以可靠测量厚度小于10nm的薄膜
l DektakXT可以快速测量材料的表面粗糙度,可以获得材料的质量信息:比如晶体生产是否满足要求,或手术植入体是否可以通过医学审核允许使用。使用软件中的数据库功能,设定 合格/淘汰条件,质量人员可以轻松确定
l 市场上 可以测量敏感材料1mm高垂直台阶的台阶仪,且测试重复性在埃米级别;
l 为微机电系统(MEMS)研究提供了可靠的关键尺寸测量手段,确保器件满足要求;
l 具有超微力(NLite+)测量功能,可以保证在测量敏感材料时,轻触材料表面而不破坏样品表面,得到台阶高度以及表面粗糙度数据。
l 在太阳能领域,DektakXT作为测量单晶硅、对晶硅电池上主栅、银线特征尺寸的 设备。
l 测量栅线的高度、宽度。节约了贵金属银的使用量,同时保证了电池板的 佳导电性。Version64的数据分析方法和自动操作能力使这一检验核实的过程通过特定设置后自动完成。
实现了纳米尺度的表面轮廓测量,在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。
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