SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD
SENTECH仪器(德国)有限公司是国际主流的半导体设备商,研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器(反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪)和等离子工艺设备(等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统)。
SI 500 PPD是电容平板式PECVD等离子沉积设备,主要用于SiO2,SiOxNy,SiNy,a-Si,SiC薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积。
图1、SI 500 PPD 设备外形图
? 电源13.56 MHz, 600 W
? 驱动电极集成了淋浴头和暗区屏蔽
? 6 MFC控制气路(SiH4, NH3, N2O, O2, Ar, CF4)
? 预真空锁loadlock, 带有取放机械手
? 高速率真空泵系统,独立气流压强控制
? 上电极和下电极分别加热,具备高的长期可靠性和工艺重复性
? 基底温度20oC至350oC
? 远程控制(RFC)
? SENTECH高级等离子设备操作软件
图2、SI 500 PPD 控制软件
? 可选低频应力调节
? Cassette到cassette操作方式
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