MX61A 自动化半导体检查显微镜

MX61A是一款专门设计的半导体显微镜,可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作,有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测,保证了工作的效率和产品一体化。通过软件控制内外部设备的显微镜新系统。通过电动控制,不受样品或操作员等各种条件的影响,实现 佳的检查环境。适合300mm晶片检查用的电动机型(反射专用)。

特点:

? 适合明场、暗场、微分干涉和简易偏光观察。

? 可以搭载与设备相适应的自动调焦机构。

MX61L/MX61 半导体/FPD检查显微镜

MX61L半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,满足不同样品的测量需求。可与物镜的切换连动,自动调节光圈等,实现舒适的检查环境。搭载了14X12英寸的载物台,可以适用于大尺寸样品的检测。适合300mm晶圆(MX61L)和200mm晶圆(MX61)、液晶面板等检测的电动机型(反射透射兼用)。

特点:

? 将主要操作部分集中配置在前面板等,从设计上追求半导体的高检查效率。

? 通过电动转换器高速切换物镜,同时进行光圈调节,可确保 佳检测状态。

? 可以进行明场、暗场、微分干涉和简易偏光观察。

MX51 工业检测显微镜

奥林巴斯MX51工业检查显微镜是一款高性价比的显微镜,适用于各种电子元件、晶圆和大型样本的观察需求。从明场到荧光观察法,满足不同样品测量的需求。结合优异的扩展功能,可以满足不同样品的测量需求,实现优异的性价比。适合150mm晶片、液晶面板等检测的电动机型(反射透射兼用)。

特点:

? 备有150mm和100mm两种载物台

? 可以进行明场、暗场、微分干涉和简易偏光观察

? 设计上确保节省空间

AL120 晶圆搬送机

AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,可以安全高效搬送薄片晶圆, 适合于前道到后道工程的晶圆检查。可以根据检测需要进行操作条件设定,通过液晶显示屏可以方便地确认设定条件和检查结果,为快速检查提供了帮助,同时也为后续的工序检查提供了高可靠性和安全性。

特点:

? 备有200mm专用型、200mm/150mm兼用型、150mm类型(适合150mm以下晶片检查)

? 同时可以从宏观检查专用机或宏观、微观检查兼用机型中进行选择

AL120-12 300mm晶圆搬送机

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,实现了不影响晶圆(薄晶圆、反转晶圆)搬运条件等工作,为后续的工序检查提供高可靠性和安全性。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。为提高300,mm晶片的成品率和生产效率做出贡献的手动搬运装置。

特点:

? 备有以高亮度金属卤化物为光源的专用宏观照明装置